基于獨(dú)?雙傳感器的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，通過精確協(xié)同與優(yōu)化配置，確保每個(gè)傳感器都能在專屬領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮出獨(dú)???的優(yōu)勢(shì)，促進(jìn)了傳感器之間的互補(bǔ)性，給??帶來最優(yōu)質(zhì)的使?體驗(yàn)。
傳感器切換?便，巧妙的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時(shí)更加省時(shí)省?。
粗糙度輪廓復(fù)合機(jī)CER系列
產(chǎn)品參數(shù)PRODUCT PARAMETERS
| 型號(hào) | CER | |
| 測量范圍 | X軸 | 120-220mm |
| X軸分辨率 | 0.1μm | |
| Z軸 | 320-620mm | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm |
| Z1分辨率 | 0.02μm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | <±(0.8+|0.05H|)μm |
| 圓弧 | 士(2+R/8)μm | |
| 圓弧Pt | / | |
| 角度 | ±2′ | |
| 直線度 | 0.5um/100mm (截止波長2.5) | |
| 粗糙度傳感器 | 量程 | ±420μm |
| 分辨率 | 65536:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(10nm +3.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.010μm | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評(píng)定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
測量案例
Measurement case
