基于獨?雙傳感器的創(chuàng)新設(shè)計，通過精確協(xié)同與優(yōu)化配置，確保每個傳感器都能在專屬領(lǐng)域內(nèi)發(fā)揮出獨???的優(yōu)勢，促進了傳感器之間的互補性，給用戶帶來最優(yōu)質(zhì)的使?體驗。
傳感器切換?便，巧妙的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時更加省時省?。
粗糙度輪廓復(fù)合機CFR系列
產(chǎn)品參數(shù)PRODUCT PARAMETERS
| 型號 | CFR | |
| 測量范圍 | X軸 | 120-220mm |
| X軸分辨率 | 0.1μm | |
| Z軸 | 420、620mm可選 | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm可選 |
| Z1分辨率 | 0.02μm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.8+|0.05H|)μm |
| 圓弧 | 士(2+R/8)μm | |
| 角度 | ±2′ | |
| 直線度 | 0.5um/100mm(截止波長2.5) | |
| 測量速度 | 2mm/s | |
| 粗糙度傳感器 | 量程 | ±420μm |
| 分辨率 | 65536:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(10nm +3.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.01μm | |
| 重復(fù)性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
