超微傳感：0.001μm級(jí)分辨率傳感器，精準(zhǔn)捕捉納米級(jí)表面形貌特征
精密運(yùn)動(dòng)：高剛性空氣軸承回轉(zhuǎn)系統(tǒng)（徑向跳動(dòng)≤0.05μm），確保測(cè)量基準(zhǔn)穩(wěn)定性
抗擾采集：寬頻信號(hào)處理能力，實(shí)現(xiàn)純凈信號(hào)提取
智能隔振：多級(jí)隔振系統(tǒng)，有效隔離環(huán)境微振動(dòng)干擾
自動(dòng)圓柱度諧波分析測(cè)量?jī)xFFT-CYA系列
產(chǎn)品參數(shù)PRODUCT PARAMETERS
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)名稱(chēng) | FFT-CYA | FFT-CYA-2 | |
| 諧波分析 | 分析波段 | 1-150upr | 1-512upr | |
| 回轉(zhuǎn)軸系 | FFT max1 | 0.04μm | 0.04μm | |
| FFT max2 | 0.025μm | 0.025μm | ||
| FFT max3 | 0.015μm | 0.015μm | ||
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 6rpm | 6rpm | ||
| 最大測(cè)量直徑 | 300mm | 300mm | ||
| 最大工件直徑 | 450mm | 450mm | ||
| 傳感器 | 傳感器量程范圍 | ±500μm | ±500μm | |
| 傳感器線性精度 | 3nm+5% | 3nm+5% | ||
| 傳感器分辨率 | 0.001μm | 0.001μm | ||
| 水平臂 | 水平移動(dòng)范圍 | 165mm | 165mm | |
| 水平凸出量 | 25mm | 25mm | ||
| 圓周檢測(cè)器 | 圓周采樣點(diǎn)數(shù) | 16384 | 32768 | |
| 圓周分度精度 | 0.6/1000 | 2/10000 | ||
| 減振系統(tǒng) | 減振方式 | 橡膠減振 | 混合減振（橡膠+氣?。?/td> | |
| 剛性支架 | 方鋼龍骨 | 方鋼龍骨 | ||
